半導体業界向け高速X線CT自動検査装置/VT-X900X線検査装置VT-X900 テクノロジー:オムロン検査装置

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テクノロジー

オムロンのX線検査装置は3D-CT方式を採用

2D方式(透過型)画像

2D方式(透過型)画像

オムロンのX線検査装置は3D-CT方式を採用
-計測データの高速取得
-サブミクロン分解能でも安定した画像処理
-レシピに基づいた自動検査

CT画像

計測データの出力イメージ

豊富な計測データ(Metrolgogy data)に基づき工程条件の定量化を実現します。

Variety of data output
OMRON高精度X線CT撮像が、基板検査の効率を変革します。X線検査装置VT-X900カタログ請求

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